Сензори за налягане с чувствителни структури оксид/метални наночастици/оксид (СЕНС ОМО)

Основна информация

Описание

Налягането е физически параметър, характеризиращ, както живота на хората и заобикалящата ги среда, така и всички човешки дейности. Сензорите за налягане са прибори, които реагират на измененията на този параметър, като генерират съответен сигнал. С разработването на сензори от силиций с интегрирани пиезорезистори е започнал траен процес за намаляване на техните размери от сантиметри до милиметрови нива. Това е улеснило тяхното използване и е довело до разширение на областите на приложение, както и до намаляване на себестойността им. Затова, миниатюризацията е устойчива тенденция в разработването нови сензори за налягане. При това, с намаляване на размерите се достигат граници, които могат да бъдат преодолявани само с радикални промени на конструкциите и технологиите за тяхното производство. Същността на предложения нов подход е замяна на плоските силициеви мембрани с вградени пиезорезистори, с нагънати силно легирани мембрани, които са снабдени с нови чувствителни елементи - наноламинатни структури Оксид-Метални наночастици-Оксид (ОМО). Поради ниската чувствителност, плоските мембрани с малък размер ще бъдат заменени с нагънати мембрани с избрана дебелина и профил, при което контролируемо ще се понижи тяхната механична коравина до подходящи стойности и оттам, ще се повиши чувствителността им към изменение на налягането. Основната цел на проекта е да се преодолеят съществуващите конструктивни и технологични предизвикателства и да се създадат прототипи на сензори за налягане с рекордно малки габаритни размери (< 1.0 мм) и размери на мембраната (<200 мкм).. Крайната цел е да се разработят и валидират в среда близка до реалната прототипи на миниатюрни сензори за налягане, методика за тестване и контрол на характеристиките им и разкриване на корелация между получените резултати и качествата на микрорезисторите, реализирани с ОМО структури. Тези сензори могат да бъдат приложими в различни области - от медицината до съхранение и транспорт на водород и природен газ.

Изпълнителят се свързва чрез официалното поле EntityId от договора към секцията Entities. Когато един официален номер съдържа няколко договорни реда, всеки ред се запазва отделно.

Финансиране